主题:求助 日立S-3000N在几千倍就不清楚了!

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shelleywu
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各位大侠,小女子在使用日立的S-3000N扫描时,用的15KV,在七、八千倍的时候图像就有些模糊了,调试了工作台距离、电压还有那个电子的数量、但始终高倍还是不清晰。我观察的是昆虫的附肢,不知道到底应该怎样调试呢?希望得到大家的帮助,谢谢!
推荐答案:shuzheng回复于2006/07/31
拍高倍照片:WD降低,电子束流调细,高压适当高些(导体而言),差不多时,调整光栏和像散,再手动轻微聚焦,试试看看怎样?
补充答案:

semuser回复于2006/07/31

首先是高真空还是低真空,
高真空:注意束斑尺寸的大小、物镜光阑的孔径大小和对中、像散的调整、
工作距离的远近

低真空:需加上加速电压和真空浓度的调整

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shuzheng
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拍高倍照片:WD降低,电子束流调细,高压适当高些(导体而言),差不多时,调整光栏和像散,再手动轻微聚焦,试试看看怎样?
semuser
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首先是高真空还是低真空,
高真空:注意束斑尺寸的大小、物镜光阑的孔径大小和对中、像散的调整、
工作距离的远近

低真空:需加上加速电压和真空浓度的调整
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原文由 shelleywu 发表:
各位大侠,小女子在使用日立的S-3000N扫描时,用的15KV,在七、八千倍的时候图像就有些模糊了,调试了工作台距离、电压还有那个电子的数量、但始终高倍还是不清晰。我观察的是昆虫的附肢,不知道到底应该怎样调试呢?希望得到大家的帮助,谢谢!

机器是很好的机器,  样本是超级容易的样本,以上两项都没有问题。
操作员技术太滥,还浮躁。
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