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主题：【求助】双电荷过高是怎么回事，怎么解决

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luojing0996
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发表于：2014/03/02 20:08:34 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
昨天做了下7700X的仪器调谐和自动调谐，发现双电荷达到了8点几，请问这么高是怎么造成的，怎么解决，

本来想传几张图的，但就是传不上来不知道为什么
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2014/3/3 0:05:04 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
参见 http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20130822/4921518/

很可能是进样系统残留有内标元素Ge，你观察到的 70 = 70Ge+ 加上 140Ce++
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光哥
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2014/3/3 8:46:43 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
其他指标是否也同时大幅度上升？
这7700s偶尔也会出现这样的情况——仪器各参数没做任何的改变，但是灵敏度、氧化物和双电荷每项指标暴涨，调整下几个电压又回复正常了。
就这点来看，每次做样前进下调谐液看看还是十分必要的
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luojing0996
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2014/3/3 10:20:45 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
其他指标都在正常范围内，只有双电荷偏高，可能是残留，多用纯水洗洗就可以了吗？

楼上说的电压怎么调，自动调谐里面吗
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yilimomo
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2014/3/3 17:11:49 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
等离子温度过高好像也会导致双电荷偏高，改下参数看是否是载气流速过低或者射频功率过高？
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jiasheng
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2014/3/3 21:45:36 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yilimomo(yilimomo) 发表:

等离子温度过高好像也会导致双电荷偏高，改下参数看是否是载气流速过低或者射频功率过高？


功率降点，氧化物它又上来。载气我试过。（调高后发现不太稳定，所以就这样子）
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yilimomo
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2014/3/3 22:38:41 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jiasheng(jiasheng) 发表:
原文由 yilimomo(yilimomo) 发表:

等离子温度过高好像也会导致双电荷偏高，改下参数看是否是载气流速过低或者射频功率过高？


功率降点，氧化物它又上来。载气我试过。（调高后发现不太稳定，所以就这样子）


感觉你的参数里采样深度可以往小调一点，功率降一点，再做一下载气的优化看看
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luojing0996
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2014/3/6 17:08:12 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我电话咨询了下工程师，分析下来是我前两天做了浓度较高的ZN，也就是PPM级别的，ZN有同位素70的，可能是没洗好，所以每天多用酸洗洗，双电荷一直在降中，慢慢恢复正常了，谢谢各位的帮忙，现在看来应该是找到原因了
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