原文由 依风1986(xurunjiao5339) 发表:
原文由 jack510070(jack510070) 发表:
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等离子体发生器目前主要有两种:较传统的用大功率电子管作射频功率放大器,较现代的用固态器件(半导体晶体管)。如果用电子管,则需要预先点亮阴极加热灯丝,直至其温度稳定后才开始工作。我想这个灯丝应该就是指电子管的灯丝。
较现代的用固态器件(半导体晶体管)这个目前那些ICP品牌应用,这个有什么特别(相对于较传统的用大功率电子管)
晶体管体积较小,效率较高,但抗负载变化能力弱,易损坏功率管。
电子管则相反,体积大,效率较差,但耐用皮实。不过,电子管存在一个有限的工作寿命,而晶体管只要每损坏,其寿命是无限的。
晶体管抗负载变化能力弱的原因何在?
晶体管依靠PN结工作,PN结一旦击穿,就会产生不可恢复的损坏。而电子管是靠控制电子在真空中的运动来实现其功能的,其耐压值很高,并且电压过高后,也不会产生不可逆转的损坏。
ICP射频电源的负载是等离子体,等离子体的阻抗取决于其电离状态,工作气流的稳定、温度的波动以及注入样品的具体情况,都会影响等离子体的状态,导致其阻抗发生变化。虽然大多数ICP电源都会有自动阻抗匹配装置,但这个装置的反应总是有限快的,当阻抗不匹配时,将会有较大功率反射回去,使功率器件承受很大的过电压或者过电流。晶体管的承受能力较差,因此比较容易损坏。当然,有相应的方法防止这种情况发生,但相对于电子管ICP电源来说,晶体管电源的技术复杂程度无疑要高得多。