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主题：【求助】新手问题 为什么pump oil 会进入ms....

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千层峰
jxyan
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2014/10/14 17:08:59 21楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 診惜(v2888360) 发表:
原文由 千层峰(jxyan) 发表:
经常突然断电，MS真空腔的负压，会把泵油的蒸汽吸上来。


发现甭是油密封的..


甭是指哪里？？
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ruan651209
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2014/10/14 22:07:30 22楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 侠客行008(v2811870) 发表:
能否给个示意图解释一下，为何突然断电后的真空腔不会吧泵油的蒸汽倒吸回真空腔内呢？？


看过工业分子泵文献，管路关闭及放空依次序即可避免。

工业用途比气质更怕停电返油。
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毛壳蜗牛
v2736632
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2014/10/15 16:49:36 23楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
A的工程师说扩散泵油会到真空腔里去的，我们的5973真空腔里就好多油气。
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ruan651209
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2014/10/15 17:55:14 24楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 毛壳蜗牛(v2736632) 发表:
A的工程师说扩散泵油会到真空腔里去的，我们的5973真空腔里就好多油气。


比蜗轮分子泵配置，省多少钱？
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診惜
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2014/10/16 15:05:49 25楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 千层峰(jxyan) 发表:
原文由 診惜(v2888360) 发表:
原文由 千层峰(jxyan) 发表:
经常突然断电，MS真空腔的负压，会把泵油的蒸汽吸上来。


发现甭是油密封的..


甭是指哪里？？


打错拉, 是泵. oil sealed
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