主题:【讨论】求助各位,我一直不清楚,欠焦和过焦的原理图,又是如何定义的,谢谢过来指导

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kuku5837
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谢谢lirongzhu的详细解释,辛苦了。
我前面最大的误解也是把各个聚光镜组独立开来看了,所以看那光路图越看越糊涂,其实CL1, CL2,CL3,CML包括物镜前级都是一起联动的,在控制面板上也确实看到转动brightness按钮的时候,CL2,CL3,CML的电流值都在发生改变,而不只是CL3改变,其它按钮同样如此比如a角,根据获得平行光或是汇聚束的要求进行相应的调节,不过这也确实给理解光路图带来了很大困扰。经过lirongzhu老师的仔细讲解,弄清了不少。
还有些不解的是,“还有,上面的讨论,都是在只改变CL3这个前提下进行的。有的时候,我们会改变CL3下面的CM电流,改变光斑的汇聚状态,也就是教科书上的a角,也会对光束的照明孔径角产生影响,进而影响光束的平行性。CM电流变大,同样使得CL系列产生一个过焦状态,a角变小,平行性更好。CM电流不同,CL3的正焦位置也会发生变化的”。这个a角在TEM模式下和CBD模式下都有,为何前者的改变(应该是1-3)都是接近平行光,而后者的改变(应该是1-9)怎么变都是汇聚光,怎么理解?
lirongzhu
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原文由 kuku5837(kuku5837) 发表:
谢谢lirongzhu的详细解释,辛苦了。
我前面最大的误解也是把各个聚光镜组独立开来看了,所以看那光路图越看越糊涂,其实CL1, CL2,CL3,CML包括物镜前级都是一起联动的,在控制面板上也确实看到转动brightness按钮的时候,CL2,CL3,CML的电流值都在发生改变,而不只是CL3改变,其它按钮同样如此比如a角,根据获得平行光或是汇聚束的要求进行相应的调节,不过这也确实给理解光路图带来了很大困扰。经过lirongzhu老师的仔细讲解,弄清了不少。
还有些不解的是,“还有,上面的讨论,都是在只改变CL3这个前提下进行的。有的时候,我们会改变CL3下面的CM电流,改变光斑的汇聚状态,也就是教科书上的a角,也会对光束的照明孔径角产生影响,进而影响光束的平行性。CM电流变大,同样使得CL系列产生一个过焦状态,a角变小,平行性更好。CM电流不同,CL3的正焦位置也会发生变化的”。这个a角在TEM模式下和CBD模式下都有,为何前者的改变(应该是1-3)都是接近平行光,而后者的改变(应该是1-9)怎么变都是汇聚光,怎么理解?
注意咯,TEM模式下,是可以做EDS、NBD和CBD的,但不建议用TEM模式来做(因为此模式下SPOT一般要比其它模式都要大,改变量也有限),同样其它模式下也可以进行TEM观察,但同样不建议这么做。电镜设计这些模式,是为了方便操作而已,本质上并没有区别。a角度大小主要决定于CM值,NBD的角度是这些模式中最小的(CM电流最大),其次是TEM模式(2100只有三个档次),再次是EDS模式,CBD模式角度最大。再次注意,a角度大小仅仅是代表了当CL将电子束聚焦成像(CL正焦)时的照明孔径角的大小,仅此而已。TEM与其它模式在应用的时候相比较,其CL的聚焦状态是不一样的。只有TEM模式是采用CL过焦照明,而其他模式都是CL正焦照明,也就是将光束会聚到样品上进行照明。
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