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主题：【讨论】GC-MS中MS无发射电流的相关问题？

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〇rbitrap
wy19871124
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2015/9/25 10:07:27 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1.灯丝燃尽 2.相关线路有灰尘导致接触不良，需擦拭 3.线路板出现问题。可以用替换法排除
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SidLee
v2697000
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2015/9/30 11:28:24 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
前几天遇见了次，洗完离子源装好抽真空灯丝不亮没发射电流，灯丝装的时候还是好的，放空完拆开一看灯丝是好的，重新装了下拧拧螺丝就好了，很莫名
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cydasiasilicon
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2015/9/30 13:25:08 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
控制好设备温度 主要MS室 保证正空度 再一个MS温度不要低于100摄氏度以下 用2年没问题，我们还主要做腐蚀性气体 氯化氢  氯硅烷等。
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cydasiasilicon
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2015/9/30 13:25:53 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 SidLee(v2697000) 发表:
前几天遇见了次，洗完离子源装好抽真空灯丝不亮没发射电流，灯丝装的时候还是好的，放空完拆开一看灯丝是好的，重新装了下拧拧螺丝就好了，很莫名
肯定是接触问题。
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千层峰
jxyan
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2015/10/6 13:05:47 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 m3031334(m3031334) 发表:
用了有一年多一点
一年多点就坏，有点快啊。。。
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