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主题：【求助】JEOL 2100F 升场升高压，暗电流加不上

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kuiwa
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发表于：2016/05/23 18:53:57 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有个问题想请教一下各位大神，我们的JEOL 2100F 每次停机维护之后（例如，停电关机，换冷却水，做Bake等等），
做HT condition时，很多时候暗电流都很难加上，做完HT condition之后，要加高压和加场时，暗电流就更难加上了，
暗电流加不上大概分两种情况，一种是暗电流开始不跟着高压一起上升，过一段时间然后暗电流突然迅速上升，
然后就出现了HT over，高压掉了；第二种情况是，暗电流一直是0，不随高压上升。
以前反复加几次高压之后，就可以把高压加上（暗电流也正常），今天做HT condition 正常，但反复加了一天的高压了，一直加不上。
不知道有什么办法没有？（已经试过重启电镜和 重启电源柜上的HT开关都没作用）
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2016/5/24 8:35:04 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看看高压箱的压力值是否正常，如果气体压力正常，另外还需要注意镜筒的真空情况
建议可以先在160或者180KV的条件长时间保持一天到两天，观察暗电流是否变化，是否有掉高压的情况，如果稳定再加缓慢到200
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2016/5/24 8:36:42 Last edit by coime
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2016/5/24 17:24:12 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
看看高压箱的压力值是否正常，如果气体压力正常，另外还需要注意镜筒的真空情况
建议可以先在160或者180KV的条件长时间保持一天到两天，观察暗电流是否变化，是否有掉高压的情况，如果稳定再加缓慢到200
谢谢各位的回复，我的电镜是100KV之前，暗电流不稳，如果能稳定升到100KV，后边就没问题了，我反复升电压试了十几次，有一次好了
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2016/5/24 17:25:34 Last edit by kuiwa
bairen828
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2016/8/30 10:05:21 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我觉得还是SF6压力的问题，检查下压力，如果压力正常，是不是气体的纯度不够？低压时有高压放电现象，可能导致暗电流不稳。
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