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主题：【阶前有约】你做过功率匹配吗

浏览0 回复9 电梯直达
阶前尘
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发表于：2016/05/31 23:03:37 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
反射功率的定义：
高频电能通过耦合线圈产生高频电磁场，从而输送稳定的高频电能给plasma，但是耦合线圈并不能完全吸收所有的功率，就会有部分功率被反射回功率放大器，这就是反射功率。反射功率增大的主要原因是由于plasma不稳定造成的，具体因素可能是炬管粘污，锥脏了，高频屏蔽不好，功率放大器工作不稳定，耦合电容不稳定等等。
一般点火状态下反射功率好像要求在12W以内比较好，但是在点火瞬间反射功率值，正常情况为200瓦~400瓦，否则说明RF发生器输出不正常。
当发生反射功率过大的时候，容易损坏射频发生器。所以点火后要仔细观察反射功率的值，当出现增大的时候除了要清洗系统外，不知道你有没有考虑过做功率匹配呢？


楼主，以前很少关注发射功率，好像每次做样都维持在2W，但是前不久仪器电源挂掉了以后，更换新电源的时候，我才明白反射功率真正的含义。因为换了新电源再次点火的时候发现发射功率超过了10W，于是工程师做了下功率匹配。就是在调谐界面调整了下RF Matching电压，从2V调到了1.81V，反射功率此时在2W。
这个电压并不是越低越好，它与发射功率呈现一个反正弦曲线的关系。如下图，图画得难看了点，到时候再修饰吧，有会做图的帮个忙也行
感兴趣的大家可以试一试！其中有说的不合适的的地方欢迎指正！
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阶前尘
jieqian1211
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2016/5/31 23:04:49 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请养成查看反射功率的好习惯，一旦不符合要求就要采取相应的措施了，以免损害射频发生器！
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2016/5/31 23:05:17 Last edit by jieqian1211
gz07apple
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2016/6/1 6:46:10 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
常做基质差别大的样品，会由于阻抗变化产生反射功率波动，所以射频要有快速匹配的能力。反射功率高，肯定是匹配系统坏了，长期不管，射频也会出问题
该帖子作者被版主 jieqian1211加 5积分， 2经验，加分理由：讨论
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逃出格子
andy917
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2016/6/2 9:26:05 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
操机养成良好习惯，细节的变化中的明察秋毫可以减少很多的潜在隐患
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p3118911
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2016/10/10 17:03:49 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好帖子，原来测试的时候都只是进行简单维护没有探讨过这些问题，说明实际中不足。赞~
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tuxlin
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2016/10/11 9:59:46 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
PE的ICP-MS是自激式功率发生器，没有反射功率的问题。热电的Q系列也没有反射功率调整了。
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阶前尘
jieqian1211
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2016/10/11 10:08:08 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tuxlin(tuxlin) 发表:
PE的ICP-MS是自激式功率发生器，没有反射功率的问题。热电的Q系列也没有反射功率调整了。
有反射功率的话是不是算上缺点了
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tuxlin
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2016/10/11 10:35:14 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 阶前尘(jieqian1211) 发表:
有反射功率的话是不是算上缺点了
工作方式不同罢了。如果只有缺点，相信安捷伦也不会用。
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timstoicpms
timstoicpms
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2016/10/11 18:16:03 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tuxlin(tuxlin) 发表:
PE的ICP-MS是自激式功率发生器，没有反射功率的问题。热电的Q系列也没有反射功率调整了。
热电 ICAP四极杆、Element高分布、Neptune多接收都是有反馈功率，只不过是自适应实时匹配，用户很难察觉。
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miaoaiwen
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2016/10/12 21:35:23 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 阶前尘(jieqian1211) 发表:
请养成查看反射功率的好习惯，一旦不符合要求就要采取相应的措施了，以免损害射频发生器！


12W以内较好是么？我之前的反射功率基本都在2W左右，后来突然升高了，十几左右，感觉不对劲，问工程师，工程师告诉我二三十以内都算正常。。。。。。这个是怎么计算得来的吗？
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