主题:【求助】SEM的真空gui 可以自己清洁吗?

浏览0 回复3 电梯直达
Hyl1
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FEI Quanta FEG 250真空出问题了:电子枪真空显示好的(绿色),样品仓真空显示灰色,仓门打不开,点了放气也不行。。。 而且一个机械泵应该在放气状态停止工作的--现在一直工作着,不停!!!
说是真空gui脏了,需要清洁,有人清洁过扫描电镜的真空gui吗?在哪里呢?怎么清洁呢?可以自己动手吗?
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unht
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清洁过很多次,这个不是很难,完全可以自己动手弄的。
Hyl1
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哦哦,可以自己处理的啊?可是我们连在哪都不知道呢。。。    有可以参考的资料吗?
unht
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