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主题：【求助】ICP Q点火相关的疑问

浏览0 回复12 电梯直达
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发表于：2019/06/19 10:14:34 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
首先附上大神贴点击打开链接
最近经常出现设备点不着火，但点着火后不会熄火，有几点疑问
点火前条件检查1.氩气纯度，分压都正常(fab厂这些参数要求很高，且是一个大系统）
                        2.进样系统无漏气，且在样品中
                          3.矩管、injector、都没有质量问题，
                        4.电压realback和set都有且正常
                        5.pirani  gauge 1e-2mbar，Penning gauge 7~8e-7mbar，且采样锥和截取锥清洗过，无锥孔变大，无脏污（清洗前有点白色结晶）
疑问：1.点火时是否应该关掉进样管路的水（设备不测样时一直进水），防止雾化后的水导致仪器湿度变大。2.每次点火只有火苗，点火时电压为900w，这个压力是否可调（参数好像是默认的）3.截取锥内部的插销有啥作用（现在的设备好像没有用插销，出厂的截取锥上面有插销）
小白一枚，有些低级问题还需各位指点，有没有ms相关的书籍推荐，深表感谢！！
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2019/6/19 11:02:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个仪器的问题你最好问下你们仪器的工程师，他更专业，MS方面的书籍倒是可以推荐一本给你，个人觉得不错的
附件：
电感耦合等离子体质谱应用实例.pdf
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tuxlin
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2019/6/19 11:49:19 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1、不用你管，点火程序自动控制。点火时你可观察一下，蠕动泵会停止转运、雾化气流速为0，不进样，等点火稳定后再开始进样。
2、点火过程中等离子体功率是逐步上升的，先到900W、再到1200W、稳定后再升到1550W。
3、截取锥内部的那个不是插销，是嵌片。不同孔径的嵌片对应不同的分析模式。3.5的是标准配置，对应STD、KED模式；2.8的是高灵敏度模式，对应STDS、KEDS模式，灵敏度高、基体耐受性差；4.5的对应高基体模式，STDR、KEDR等，耐高基体、灵敏度稍差。嵌片是一定要用的。
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00云之巅00
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2019/6/19 15:32:52 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 我是风儿(nphfm2009) 发表:
这个仪器的问题你最好问下你们仪器的工程师，他更专业，MS方面的书籍倒是可以推荐一本给你，个人觉得不错的
好东西啊，已下载，万分感谢
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00云之巅00
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2019/6/19 15:43:48 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tuxlin(tuxlin) 发表:
1、不用你管，点火程序自动控制。点火时你可观察一下，蠕动泵会停止转运、雾化气流速为0，不进样，等点火稳定后再开始进样。
2、点火过程中等离子体功率是逐步上升的，先到900W、再到1200W、稳定后再升到1550W。
3、截取锥内部的那个不是插销，是嵌片。不同孔径的嵌片对应不同的分析模式。3.5的是标准配置，对应STD、KED模式；2.8的是高灵敏度模式，对应STDS、KEDS模式，灵敏度高、基体耐受性差；4.5的对应高基体模式，STDR、KEDR等，耐高基体、灵敏度稍差。嵌片是一定要用的。
你的意思是，用STD,KED,时候用3.5,STDS、KEDS的时候用2.8，但是我们测样时需要连续测样而且在一次进样中上述四个模式都有并且切换的。STDR、KEDR倒是没有涉及到。
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tuxlin
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2019/6/19 16:18:57 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 00云之巅00(v3147234) 发表:
你的意思是，用STD,KED,时候用3.5,STDS、KEDS的时候用2.8，但是我们测样时需要连续测样而且在一次进样中上述四个模式都有并且切换的。STDR、KEDR倒是没有涉及到。
是的，根据样品情况选择不同的嵌片。嵌片选定后只能在STD、KED、CCT之间切换，不会在S、R 、标准模式之间切换。
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00云之巅00
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2019/6/20 14:22:05 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tuxlin(tuxlin) 发表:
是的，根据样品情况选择不同的嵌片。嵌片选定后只能在STD、KED、CCT之间切换，不会在S、R 、标准模式之间切换。
要是不用的话，会有什么明显的问题吗？
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tuxlin
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2019/6/20 16:04:09 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 00云之巅00(v3147234) 发表:
要是不用的话，会有什么明显的问题吗？
不用什么，不用嵌片？没这么做过，不知道。可能真空度不好、灵敏度为好、调谐指标不达标等等。
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光哥
xsh1234567
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2019/6/24 10:04:23 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
FAB厂应该是2.8的嵌片吧？
IC行业的和其他的不是太一样，建议向仪器制造商申请专门的培训吧
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00云之巅00
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2019/6/25 8:33:55 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
FAB厂应该是2.8的嵌片吧？
IC行业的和其他的不是太一样，建议向仪器制造商申请专门的培训吧
赛默飞的培训你懂的
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光哥
xsh1234567
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2019/6/25 9:38:03 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 00云之巅00(v3147234) 发表:
赛默飞的培训你懂的


只是点火困难，但点火完成后状态还是稳定的。
建议试试每次点火前，先开启Plasma Gas和Aux Gas两三分钟，吹扫下炬管里面的空气
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