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主题：【求助】电子束斑放大和缩小时变扁是怎么回事

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mmctem
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发表于：2007/03/16 22:01:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用的事F30，在纳米束模式下当放大和缩小束斑时（用intensity钮）束斑会变扁，请问是有什么原因引起的，该怎么调？多谢！！
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2007/3/18 8:59:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
聚光镜像散，保证聚光镜光阑对中的情况下，消聚光镜像散使光斑变圆。
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mmctem
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2007/3/18 17:06:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我的确是调了聚光镜像散，但是当改变电子束的大小的时候，它的形状就又变了，所以应该不仅是像散的问题，还有别的地方出了毛病，聚光镜光栏我也对中了，就不知道哪儿出了毛病了，请指教！
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Robert
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2007/3/18 22:10:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
新手上路，近来听课。用的是JEM1010，不知道如果面临相同情况时是不是有很大差别。
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msoar
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2008/3/31 8:10:13 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请调整rotation center!
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