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主题：【已应助】请问有朋友做过晶圆盒中气体分析吗？有那些可能的成分？用什么方法？

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symmacros
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发表于：2022/01/24 10:13:19 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问有朋友做过晶圆盒中气体分析吗？有那些可能的成分？用什么方法？
推荐答案：安平回复于2022/01/25
        好像也有PP材质的晶圆盒。

        况且晶圆盒内部还有其他部件。

        可以参照一下类似的包装材料的分析方法。
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2022/1/24 10:35:19 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
之前接触过晶圆盒，好像对内部气体组分没有什么要求。一般能保证洁净的环境即可
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symmacros
jimzhu
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2022/1/24 10:57:39 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 深蓝(mitsumi) 发表:
之前接触过晶圆盒，好像对内部气体组分没有什么要求。一般能保证洁净的环境即可
谢谢， 请问晶圆盒一般是什么材质？
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深蓝
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2022/1/24 11:05:16 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般都是半透明的，像是塑料，但是好像还添加了别的，具体的不清楚。
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光哥
xsh1234567
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2022/1/24 11:30:32 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
谢谢， 请问晶圆盒一般是什么材质？
极大概率是PFA，也只有这种塑料最能搞到洁净的程度了
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2022/1/24 15:42:25 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
极大概率是PFA，也只有这种塑料最能搞到洁净的程度了
谢谢，我考虑一下PFA可能有什么挥发性成分。
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2022/1/24 15:42:56 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 深蓝(mitsumi) 发表:
一般都是半透明的，像是塑料，但是好像还添加了别的，具体的不清楚。
多谢回复，了解了。
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光哥
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2022/1/24 16:40:40 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
谢谢，我考虑一下PFA可能有什么挥发性成分。
PFA纯度足够的话，理论上应该不会有什么可以挥发的了。IC制程产线上各种超纯酸的输送也是用这种材料
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symmacros
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2022/1/24 17:25:15 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
PFA纯度足够的话，理论上应该不会有什么可以挥发的了。IC制程产线上各种超纯酸的输送也是用这种材料
多谢。是的，理论上应该很纯的。
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安平
byron1111
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2022/1/25 21:30:34 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
        好像也有PP材质的晶圆盒。

        况且晶圆盒内部还有其他部件。

        可以参照一下类似的包装材料的分析方法。
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symmacros
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2022/1/26 11:08:32 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:
        好像也有PP材质的晶圆盒。

        况且晶圆盒内部还有其他部件。

        可以参照一下类似的包装材料的分析方法。
多谢安平老师，我看一下相关的包材分析方法。
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