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主题：【已应助】关于岛津icpms 2030怎么做半导体纯水

浏览0 回复17 电梯直达

Ins_2b600c04

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发表于：2024/03/23 17:15:51 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

ppt级别的超纯水，我们是用内标法直接进样，那么此时的仪器空白如何处理？是否需要扣除，我们的钾离子，在扣完在16ppb左右，其他的值也相应增大，且线性不太好，不扣的话基本上值在PPT级别左右相差不大

推荐答案：sdlzkw007回复于2024/03/25

通常来说采用标准加入法测试一下看看。

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2024/3/24 15:30:22 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

空白需要扣除，空白用的水是最高一级的水，比如电子级水EW-I

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sdlzkw007

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2024/3/25 6:29:44 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

通常来说采用标准加入法测试一下看看。

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timstoicpms

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2024/3/25 8:09:56 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sdlzkw007(sdlzkw007) 发表:
通常来说采用标准加入法测试一下看看。

To 楼主，半导体级测试都不用内标。

你需要找业内人士手把手教一遍，而不是在论坛上问，论坛的回答良莠不齐

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2024/3/25 9:41:21 Last edit by timstoicpms

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2024/3/25 10:08:50 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 sdlzkw007(sdlzkw007) 发表:
通常来说采用标准加入法测试一下看看。

好的

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2024/3/25 10:13:43 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 Willdo(chun29) 发表:
空白需要扣除，空白用的水是最高一级的水，比如电子级水EW-I

我们用的是默克的1um的超纯水，是可以达到ew-1的水，但是最近岛津那边教我们说曲线的cblk不用扣减，再减去sblk的

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2024/3/25 10:14:39 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 timstoicpms(timstoicpms) 发表:

To 楼主，半导体级测试都不用内标。

你需要找业内人士手把手教一遍，而不是在论坛上问，论坛的回答良莠不齐

没有认识的

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2024/3/25 10:36:34 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 社会忙碌狗(Ins_2b600c04) 发表:
我们用的是默克的1um的超纯水，是可以达到ew-1的水，但是最近岛津那边教我们说曲线的cblk不用扣减，再减去sblk的

1um 是长度，这与超纯水有啥关系？EW-1 又是什么定义？ SEMI 才是半导体行业标准。
我这这么跟你说吧，如果你的 ICP-MS 碰撞反应池只有 He，而没有H2气气路，那么你是不可能做到 ppt级别的 Na Mg K Ca Fe 的
更何况你还是新手小白

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2024/3/25 10:59:28 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不需要扣本底。先测超纯水，定义为 sample；
然后拉曲线，比如 0.5 2 5 ppb 多元素混标 Cal Std；也不需要定义/测试 0 ppb 的标曲空白 CalBLK。

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社会忙碌狗

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2024/3/25 13:29:38 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 timstoicpms(timstoicpms) 发表:
1um 是长度，这与超纯水有啥关系？EW-1 又是什么定义？ SEMI 才是半导体行业标准。
我这这么跟你说吧，如果你的 ICP-MS 碰撞反应池只有 He，而没有H2气气路，那么你是不可能做到 ppt级别的 Na Mg K Ca Fe 的
更何况你还是新手小白

这一款的默克，ew-1是GB/T11446.1-2013 电子级用水

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2024/3/26 14:55:58 10楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 社会忙碌狗(Ins_2b600c04) 发表:
这一款的默克，ew-1是GB/T11446.1-2013 电子级用水

这也只是 0.1um=100nm 滤芯

https://std.samr.gov.cn/search/std?q=GB%2FT11446.1-2013

你的标准曲线空白（Cal Blank 例如2% 稀硝酸）、多元素混标（Cal Standard，也是 2%稀硝酸介质）都是基于纯水配置的。
你的纯水就是最顶级的，不需要扣除空白。

把纯水引入 ICP-MS ，此时各种元素的信号响应 = 谱学/非谱学干扰信号 + 纯水中的杂质产生的。

所以强调碰撞反应池用氢气H2（或其他手段）有效消除干扰—— 那么此时各种元素的信号响应 ≈ 纯水中的杂质产生的 ——【即认为】 Cal Blank 信号响应统统为0 cps

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2024/3/26 15:22:38 Last edit by timstoicpms