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晶体驱动部分
维护进样系统
真空泵抽真空“Foreline Trap “部分The foreline trap is filled with absorbent activated aluminium pellets. These absorb any oil and water vapour from the pump, to prevent it entering the vacuum system.
进样系统气缸
Dust Filter Assembly
SMC Pneumatic Block
Vacuum Valve Assembly主真空阀
准直器面罩驱动部分
准直器驱动部分
光管滤光片驱动部分