维权声明:本文为chenzhuojun0723原创作品,本作者与仪器信息网是该作品合法使用者,该作品暂不对外授权转载。其他任何网站、组织、单位或个人等将该作品在本站以外的任何媒体任何形式出现均属侵权违法行为,我们将追究法律责任。
仪器型号:ICP-MS8800 如下图
故障描述:仪器在运行20个样品之后,突然真空度下降,重新降温,再打开真空,真空度能够达到要求。继续做样,反复了几次。后面在开机打开真空时,pump 1彻底不能运行,前级泵和pump2运行正常。
诊断过程:这台
ICP-MS大概是2013年底开始正式运行,都是在洁净区内运行,维护保养都比较都有按时做。pump1不能运行,首先考虑到不是分子涡轮泵坏了,先打开面板,检查各个线路接头是否都完好。如下图:
检查完接头,打开真空,还是显示pump 1无法运行,转速一直显示2%左右。关机,再打开放气阀,卸载掉机器内部的真空,拆掉机器四级杆上面的盖板,盖板有四个螺丝,直接拆掉之后就可以看到四级杆内部的情况了。用氮气瓶接一根管子,对准pump 1后面的口,开大气流吹,听不到分子涡轮泵转动的声音。至此,基本上可以判断是分子涡轮泵坏了。与安捷伦售后沟通,售后那边给出的判断与我们判断一样,报价12W换分子涡轮泵。
维修:费用太高,只好自己先想想办法。仔细观察pump 1的结构,发现pump 1是由两个部分构成的,分子涡轮泵主体1和控制器2两个部分。如下图所示
刚好旁边有一台
ICP-MS7700,于是打开面板,发现7700和8800的pump 1部分完全一样。于是就想先排除一下是否是pump 1 的控制器坏了。把7700的控制器换到8800上面。具体步骤如下:关闭仪器电源,卸下前面板和侧面板,可以看到控制器有一个圆形的卡扣,直接逆时针旋转拧送,即可把控制器拔下来。控制器的电源和数据线连接到ICP MS右边的侧板上面。卸下侧板,找到相应的插口位置,用一字螺丝刀松开螺丝即可拔出控制线。控制器如下图:
控制器与分子涡轮泵的接口如下图
同样拆下8800的分子涡轮泵控制器。将7700上面的控制器安装到8800上面,安装完成之后,打开电源,打开真空,观察pump 1 的运行情况,发现在真空打开时,pump 1还是不能运行,转速一直都显示2%左右。判断不是控制器的问题,到现在基本上可以断定是分子涡轮泵坏了。
下面就是拆卸分子涡轮泵并维修了。如下图所示,ICP MS 8800有两个pump ,分别是pump 1和pump 2.需要把pump 2拆下来。先拔掉pump 2的控制线,真空胶管,然后用扳手拧松pump 2 的螺丝。三个螺丝轮换着拧,快要拧掉的时候用手扶住pump 2的底部,防止pump 2掉下来。
至此pump 2拆下来了。用锡箔纸轻轻盖住pump2 的上方开口处,并在上方加上一个干净的垃圾袋,防止灰尘进入pump体内。如下图所示:
下面就需要拆pump 1了。同样拆掉连接前级泵的胶管和另外一根排气管。再拆掉左右两边的冷凝水管,拔掉电源线和控制线。Pump 1 有四个螺丝固定,分别有扳手拧松左前方和右前方的螺丝,注意左前方的螺丝需要用内六角的专用扳手。左后方的螺丝比较难拆,需要用套筒才能慢慢拆下来。
拆下来的pump 1如下图
可以看到整个分子涡轮泵是U形的,有左右两个出口,分别对应样品室和前四级杆的位置。整个分子涡轮泵有上下两个扇叶,中间是分子涡轮泵的轴承,下面为基座用于放真空油棉,O圈,垫片等。用手指轻轻的拨动分子涡轮泵的扇叶,发现完全卡死,不能动。现在可以肯定是分子涡轮泵坏了。后面就是如何维修分子涡轮泵了。
未完待续。