主题:【讨论】氦质谱检漏仪开机20分钟真空度只能保持在10-10,开机时间越长真空度下降越慢是什么情况

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Insm_fb79b6d8
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莱宝质谱仪,刚开机运行能达到10-13开机时间越长真空度越低到10-10就下不去了
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原文由 lzq168(lzq168) 发表:没见过这莱宝质谱仪,真空下不去-般都是漏气
真空能达到,就是漏率本底达不到
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