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主题：【已应助】thermo iCAP RQ机械泵抽不了真空，将氩气打开后可抽真空

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发表于：2022/05/24 11:21:17 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
仪器关了两天，开机机械泵抽真空大概4小时，扩散室真空压力无变化，检查机械泵与仪器连接无问题后联系工程师，工程师建议打开氩气，氩气打开后真空压力值开始降低。氩气和机械泵抽扩散室压力有什么关系呢，求助各位老师
推荐答案：tuxlin回复于2022/05/25
“扩散室真空压力无变化”，是指上面的这个Pirani Pressure？这个真空值在未点火时是不会变化的，不同时间显示的数值可能不一样。点火稳定后，Expansion Valve打开（会听到机械泵的声音明显不一样），这个真空值才会降低，两分钟内降低到2.3mbar以下，Slide Valve打开，仪器进入Operate状态。
平时抽真空时，下面的Penning Pressure会变化，这个真空值正常就可以了。至于工程师建议将氩气打开，是因为仪器里很多阀门要靠气体驱动，所以气体最好是开着。
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2022/5/24 15:32:06 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
先通氩气，保持管路，质谱端布满气体，驱散空气等杂质，保持真空状态。
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tuxlin
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2022/5/25 9:00:09 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
“扩散室真空压力无变化”，是指上面的这个Pirani Pressure？这个真空值在未点火时是不会变化的，不同时间显示的数值可能不一样。点火稳定后，Expansion Valve打开（会听到机械泵的声音明显不一样），这个真空值才会降低，两分钟内降低到2.3mbar以下，Slide Valve打开，仪器进入Operate状态。
平时抽真空时，下面的Penning Pressure会变化，这个真空值正常就可以了。至于工程师建议将氩气打开，是因为仪器里很多阀门要靠气体驱动，所以气体最好是开着。
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2022/5/25 14:46:39 Last edit by tuxlin
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2022/6/6 14:39:52 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有些阀动作是靠氩气的压力实现的。
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