问题描述:半导体集成电路制造工艺控制,需要用到哪些分析技术?
解答:
微量污染物可影响半导体芯片产品的可靠性,甚至造成产品失效。因此,在接收原材料、生产制造过程、故障检测阶段以及整个装配和包装过程中,就应对污染物含量进行检测,降低污染。分析仪器,包括电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)、气相质谱仪(GC-MS),傅里叶红外光谱(FT-IR),差式扫描量热仪(DSC),离子色谱仪(IC),自动滴定仪等,是半导体和电子产品制造领域不可或缺的工具。
半导体集成电路制造与分析技术
前道工艺与分析技术
后道工艺与分析技术
以上内容来自仪器信息网《
ICP-MS实战宝典》