主题:【分享】涡轮分子泵运转时需要注意的问题6

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lijing320323
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(4)怎样充气

  如果涡轮分子泵置于一个清洁、干燥的周围环境中,就可以充室内的空气。然而充气入口的位置必须仔细选择。如果充气入口位置靠近油封式旋片泵的排气口位置之上,则充入的气体中会含有油蒸汽势必会对真空系统造成污染,而且如果空气是湿的,为了减少以后再抽气的时间,于是要充入干燥氮气或经过干燥器过滤的空气。另外也不一定总是充入大气压力下的气体,若充入气体的压力为几Torr(几hpa)的干燥气体就足以能控制碳氢化合物的返流。

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