主题:【资料】多晶硅表面金属杂质

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[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/yp]ICP-MS测定多晶硅表面金属杂质[/url]

各位要做多晶硅杂质分析的来看看,供大家参考。这篇资料是初稿,正式稿已经通过审核,还未发布...
该帖子作者被版主 lilongfei142积分, 2经验,加分理由:谢谢分享
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原文由 lilongfei14 发表:
我们就是缺这方面的资料,你是做多晶硅的吗?


这个是目前能公开出来的版本了,是征求意见稿,不过正式稿也快要发布了...
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请问你在使用ICP-MS过程中,如果发现样品有些脏是如何处理的,比如三氯氢硅颜色黑,可以混进去硅粉,你的经验是怎么处理的?谢谢!
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