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透射电镜（TEM）
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主题：【求助】怎样确定样品薄区厚度

浏览0 回复4 电梯直达
cynthia19860916
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发表于：2010/07/19 18:44:25 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
老板用FIB做了TEM样品，让我确定薄区的厚度，提了下用倾转的方法，我不是很明白。请教各位一下具体方法，谢啦。
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2010/7/19 19:07:10 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
TEM里估算厚度的方法有好几种，但没有绝对好用的，看你要做哪方面的内容了。
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cynthia19860916
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2010/7/19 19:10:39 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
TEM里估算厚度的方法有好几种，但没有绝对好用的，看你要做哪方面的内容了。

谢谢，可不可以详细点，或者给几篇参考文献也行。我的样品本来就是薄膜材料，老板问我减薄后的厚度。
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怪味陈皮
ustb
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2010/7/20 10:44:35 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
利用样品边缘的等厚干涉条纹、CBED和EELS都可以测量样品的厚度，等厚干涉条纹方法一般的透射电镜方面的书都会介绍，CBED方法可以参考《高空间分辨分析电子显微学》和《透射电子显微学进展》，EELS方法可以看一下《Electron energy-loss spectroscopy in the electron microscope 》R.F. Egerton。这些方法测量样品厚度都有误差。
另外，你FIB的时候为什么不在扫描里直接看一下厚度？
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xiao7
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2011/7/1 16:41:18 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这种样品做sem是最好的。
有substrate的吧，可以激光切割一下看截面。
文献中的截面图就是这么来的。
无基底的薄膜、graphene之流的才需要tem下看厚度。
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