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主题：【求助】EDS如何半定量或者定量分析？

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怪味陈皮
ustb
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2010/9/13 22:39:31 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 天黑请闭眼(shxie) 发表:
可TEM-EDS定量理论应该是基于样品为薄样品的前提啊，那么这个厚度的范围可以在多大范围内使薄样品的前提成立呢？

有的文献说是100nm，如果不满足薄膜近似，就要做ZAF修正，考虑到由于厚度原因而产生的吸收，以前投文章的时候就被审稿人提了这个问题。我觉得EDS一般就是半定量，做到完全定量很难。用标样来做定量分析，SEM里用的多，TEM里好像比较少。
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怪味陈皮
ustb
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2010/9/13 22:47:42 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sendtony6(sendtony6) 发表:
如果是能讓電子穿透過去的試片~其實都足夠薄了...

可以忽略厚度造成的影響(與其他參數相對比較下)

如果样品厚度不满足薄膜近似做定量分析时需要要考虑厚度因素，样品厚度增加，对低能峰的吸收也会增加，需要做ZAF修正。
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