原文由 sendtony6(sendtony6) 发表:
我倒是頭一次聽到STEM電子束不經過obj-lens,
也許你的機台設計比較不同?
倍率是由beam size與掃瞄面積決定
cemaera lenght不是控制collection angle
collection amgle是由intermedia lens來操縱(看機台設計)
(有的是用projection lens)
TEM mode 與STEM mode 走的光路徑是完全不同~
不能這樣相比~而且沒有意義
原文由 sendtony6(sendtony6) 发表:
我倒是頭一次聽到STEM電子束不經過obj-lens,
也許你的機台設計比較不同?
倍率是由beam size與掃瞄面積決定
cemaera lenght不是控制collection angle
collection amgle是由intermedia lens來操縱(看機台設計)
(有的是用projection lens)
TEM mode 與STEM mode 走的光路徑是完全不同~
不能這樣相比~而且沒有意義