主题:我们的SEM的WD一般都在21mm,是不是太远了?

浏览0 回复25 电梯直达
darkeye
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10000倍以下,应该没有问题,但是高倍情况下,机械振动,还有信号接收等问题的存在,无法生成良好图像,那么降低wd可以改善图像效果。
kaixuanliu
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看要求,我只清楚用背散射探头时工作距离一定要大于10会安全点,其他只要不撞到探头(WD>0)都是安全的,而且还会有报警,一般都不会有什么问题。我们就经常在Inlens下用2。
zemb
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选择工作距离一般考虑两个因素:
1、分辨率  在要求较高分辨率或放大倍数时,应减小工作距离。
2、景深 在需要大景深,低放大倍数时应增大工作距离。
    较小的工作距离,一般钨灯丝电镜可选5mm左右,场发射可选2-3mm。
    在用较小的工作距离时,样品移动、更换时一定要注意不要撞到物镜,有的电镜物镜是很娇气的,碰到后容易产生零件变形,影响仪器性能。带有CCD的电镜在改变工作距离时应该用CCD观察。
SeanWen
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原文由 zemb 发表:
选择工作距离一般考虑两个因素:
1、分辨率  在要求较高分辨率或放大倍数时,应减小工作距离。
2、景深 在需要大景深,低放大倍数时应增大工作距离。
    较小的工作距离,一般钨灯丝电镜可选5mm左右,场发射可选2-3mm。
    在用较小的工作距离时,样品移动、更换时一定要注意不要撞到物镜,有的电镜物镜是很娇气的,碰到后容易产生零件变形,影响仪器性能。带有CCD的电镜在改变工作距离时应该用CCD观察。


精彩!另外请问为什么‘较小的工作距离,一般钨灯丝电镜可选5mm左右,场发射可选2-3mm。’
zemb
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各种电镜都有个最佳的工作距离,大概在这个范围,SEM做分辨率检验的时候,就在这个数值附近。
wangzhan
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dhsjlj
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我们常用的是10mm,不过要是放大倍数大(比如1000以上)可适当调近些,最好不要小于3mm
longzyyz
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我想各位说的都有点出入,好象WD大小没什么关系吧!主要是样品和枪头的距离。SEM 里的WD 其实是焦距 样品才是最主要的 ,我用SEM从来都是先调样品和枪头的距离也就是Z族,再选WD。我几乎每天都要用到WD=3MM的情况
longzyyz
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stony007
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是老手了可以在5-10mm之间,不过我的还是11mm,还是保守一点安全
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