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主题：离子减薄问题？

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gamexxp
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2005/12/23 10:24:00 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
离子减薄，我们先用大角度，快漏的时候改为6度。

如果做EDX的话，我们用钼环，相对同环贵点。
另外，用Be holder， 因为普通holder上都有铜片作夹片。

还有如果是FIB做的样品的话，还有考虑样品与edx探头的取向关系。
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