ICP光谱仪的发展过程
1961年Read设计了一种从石英管的切线方向引入冷却气的高频放电装置,称之为电感耦合等离子炬,后来,Read又提出一种三层同心石英炬管的结构装置,他只要用于难熔晶体生长,并预言这种装置可作为发射光谱仪分析光源的可能性。Read的工作引起了(英国Greeufield,美国Fassle)等人的极大兴趣,他们将Read的ICP装置用于发射光谱分析,并分别于1964年和1965年发表了他们的研究结果,开创了ICP在原子发射光谱分析上的应用历史。
在60年代后期,ICP-AES(ICP原子发射光谱)分析仪器的不断完善特别是雾化器和进样技术的改进,,有效的降低了ICP发射光谱仪的分析检出限,从此ICP-AES分析仪器开始得到光谱分析工作者的广泛重视,70年代 ICP-AES进入实际应用阶段,特别是1975年美国ARL(APPlied Research Laboratories)公司生产第一台商品ICP-AES多通道仪器和1979年出现了ICP扫描型发射光谱仪。
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