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主题：【求助】6890N 氢气流量不稳定

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tce921
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发表于：2011/05/11 10:39:07 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位高手，请教一下，6890使用FID检测器时，氢气流量出现不稳定现象，氢气次级压力表压力间隔十几秒左右从设定的0.2MPa下降到0.18MPa, 之后一回到0.2Mpa, 一直这样循环。点火后，有规律的每隔0.3-0.4min基线就出现一个小峰。之前有跟安捷伦工程师联系，他回复说是EPC可能坏了，EPC不便宜呀。之后有尝试将氢气入口管路，拧松，吹了一些灰，又好了几天，现在又出现问题了，不知道各位高手是否遇到相似问题，给点建议，看看是不是自己还能做点什么，实在不行就只能报修了。谢谢。
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2011/5/11 14:41:42 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是EPC坏了
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symmacros
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2011/5/11 15:03:11 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问氢气次级压力表压力在哪里？或指那个表？
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hza123
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2011/5/11 21:04:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氢气次级压力表应该是分压表的吧，分压表如果气密性好是不会波动的。
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zhangqixy
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2011/5/11 21:13:02 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该是EPC坏了 ，只能花银子买新的了
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zhangqixy
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2011/5/11 21:13:46 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
EPC坏， 换新的吧
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coffee8
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2011/5/11 21:22:42 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
次级压力表压力是指的气瓶分压表吗？
有没有检查管路的气密性呀？
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zjb82
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2011/5/11 22:37:59 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我觉得不是气密性的问题，是epc要坏了，出现了控压不准的现象，有时除尘会好点，但解决不了问题，过不了多久就又这样，我以前用的那台老的6890就是这样的
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tce921
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2011/5/12 8:19:52 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hza123(hza123) 发表:
氢气次级压力表应该是分压表的吧，分压表如果气密性好是不会波动的。


气密性是没有问题，不过是那个氢气减压阀坏了，单纯EPC坏了，不会引起减压阀次级压力表压力的波动，所以换了个新的，问题就解决了，但是我也不确定我的EPC是不是真的有问题。
因为之前出现这种情况，也没有查看减压阀的问题，只是看机子上氢气实际流量有规律的在设定值40ml/min上下波动，基线出现的小峰比这次间隔时间短，更有规律一点。希望以后不要再出现这问题了吧，换个EPC好几万，哎。

不过，还是谢谢大家！
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bogege
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2011/5/12 10:54:58 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是啊 其它气体流量稳定的话 可能是氢气单个气路的问题
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bogege
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2011/5/12 10:58:45 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能是安装线路时，氢气气路跟其它气路接翻了 夸张想象一下 是你的动作阀门上的进样气路跟氢气接反了 半分钟一次阀动作 可不是 一下一个峰么
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