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主题：【求助】气相部分气体压力和流量不稳定？怎么回事？

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jessicaxin20
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发表于：2011/06/10 17:45:36 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
气相部分气体压力和流量不稳定，这是怎么回事

我用的是 瓦里安的气质CP-3800300MS，最近气相部分气体压力和流量不稳定，怀疑过是EFC的问题，但是我换了另一个进样口，结果基本一致，还是不稳定.另一个进样口得EFC是正常的啊。我很是奇怪，不知道哪里出了问题。现在郁闷死了.请大家帮帮忙啊
该帖子作者被版主 xiaoqing5182001加 1积分， 2经验，加分理由：鼓励
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2011/6/10 20:54:57 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请提供详细点的参数 这样大家才更有针对性的回答
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guohua
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2011/6/12 11:10:04 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是进样口压力太低吧？
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jessicaxin20
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2011/6/12 18:19:45 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 xiaoqing5182001(xiaoqing5182001) 发表:
请提供详细点的参数 这样大家才更有针对性的回答


CP-3800 设置的柱流量为 1ML/min  用的是柱子为30*0.25*0.25    柱流量以及压力 有时候猛增到 11.2ml/min  压力62.1psi 总流量达到1000多
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coffee8
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2011/6/12 20:21:41 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
流速会猛增吗？
是在什么情况下呀？
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jl070869
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2011/6/19 7:56:56 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
柱流量以及压力 有时候猛增到 11.2ml/min  压力62.1psi 总流量达到1000多
有征兆吗？前后比较一下
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xiaoqing5182001
xiaoqing5182001
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2011/6/19 9:01:54 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
压力和流量都突然增大，应该是EFC或者气源的原因
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