主题:【求助】ICP用氩气出口压力是多大

浏览0 回复17 电梯直达
xie20051106
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刚买了一台ICP,安装说明书说氩气表的次级压力表最大压力应在2到4MPa,可买回来的压力表次级压力表最大压力才1.6MPa,不知ICP需要的氩气压力是多大,我买回来的压力表可以用吗?
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Fe
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砂锅粥
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我们的分压表调在0.6MPa,光室吹扫的分压表调在0.3MPa。
悠旸
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依风1986
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PE7300压力控制在0.6-0.8之间,安捷伦的是0.55到0.65最好,其实也是在0.4-0.8之间
生于八零年代
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PE的ICO-OES分压是要求550-825KPa,agilent的是要求在600-800KPa。其实都差不多了。通常设置700KPa。
sxycwangbo
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