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透射电镜（TEM）

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主题：【讨论】FEG气压

浏览0 回复7 电梯直达

hds123523000

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发表于：2012/04/19 02:59:41 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我们的电镜用FEG，想问一下我看说明书上参数说FEG的工作环境是10^-8Pa。但是我们不是往里面充SF6么，应该明显比这个气压大啊。里面的气压到底是多少啊？谢谢。

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2012/4/19 8:57:16 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

六氟化硫是在外面，枪那部分还是真空。

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hds123523000

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2012/4/19 18:53:58 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

它们没有连通么？连通的话SF6气体不会跑过去么？

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洪星二锅头

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2012/4/20 15:51:24 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

SF6气体用于高压箱的，电子枪里面是高真空

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hds123523000

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2012/4/23 2:01:10 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

谁说SF6只用于高压箱？FEG里面不是有个进气口专门给FEG进气的么？

原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
SF6气体用于高压箱的，电子枪里面是高真空

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洪星二锅头

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2012/4/24 8:44:03 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 hds123523000(hds123523000) 发表:
谁说SF6只用于高压箱？FEG里面不是有个进气口专门给FEG进气的么？

原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
SF6气体用于高压箱的，电子枪里面是高真空

不是场反射的电镜也有一个SF6供气口，需要保持一定的压力值，但是这个应该不是在电子枪中，在阀门打开后枪和腔、照相室是连通的

电镜中的SF6气体应该是供给枪下面的电子加速装置的，与高压箱中的SF6的作用相同，保持高电位梯度

当初装电镜时没有细问，可能不正确的地方，欢迎指正。

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iamikaruk

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2012/4/24 11:23:35 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

SF6是用于高压绝缘防止放电的吧
另外一个是用于进高纯氮气的吧

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hds123523000

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2012/4/26 5:21:13 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

第一，样品室腔里面的气压至少是10-5吧，而SF6的气压至少10-3吧，怎么能连通使用呢？
第二，如果是通入样品腔的话，那么每天进样出样要消耗吧，为什么我们不经常查这个气压呢？
第三，我好像只看到进气口，没看到出气口啊。
第四，你的意思是说FEG不包括电子加速装置么？那为什么高压线连在FEG上面的？

我觉得SF6应该是起绝缘作用的。可是里面的具体结构是怎么呢？要是通气进去的话，就不损害了真空了么？莫非，SF6比真空还绝缘？

原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
原文由 hds123523000(hds123523000) 发表:
谁说SF6只用于高压箱？FEG里面不是有个进气口专门给FEG进气的么？

原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
SF6气体用于高压箱的，电子枪里面是高真空

不是场反射的电镜也有一个SF6供气口，需要保持一定的压力值，但是这个应该不是在电子枪中，在阀门打开后枪和腔、照相室是连通的

电镜中的SF6气体应该是供给枪下面的电子加速装置的，与高压箱中的SF6的作用相同，保持高电位梯度

当初装电镜时没有细问，可能不正确的地方，欢迎指正。