主题：【求助】5973用高效涡轮分子泵时其高真空度正常值是多少？

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
我的5975C是3.48E-6和6.45E-6。

真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

请问柱子的规格是多少？柱流量是多少？当时的柱温是多少？1.8Xe-5使用应该无什么问题。

原文由 dbzxh(dbzxh) 发表:

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
我的5975C是3.48E-6和6.45E-6。

真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

请问柱子的规格是多少？柱流量是多少？当时的柱温是多少？1.8Xe-5使用应该无什么问题。

柱流量1.0ml/min，柱子：30X0.25X0.25, 柱温是50度，高温时真空度也差不多这个数。

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:

原文由 dbzxh(dbzxh) 发表:

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
我的5975C是3.48E-6和6.45E-6。

真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

请问柱子的规格是多少？柱流量是多少？当时的柱温是多少？1.8Xe-5使用应该无什么问题。

柱流量1.0ml/min，柱子：30X0.25X0.25, 柱温是50度，高温时真空度也差不多这个数。

1.8Xe-5应该差不多，只要氧氮比例低就行。但我一般是真空度越来越低。

原文由 dbzxh(dbzxh) 发表:

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:

原文由 dbzxh(dbzxh) 发表:

原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
我的5975C是3.48E-6和6.45E-6。

真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

请问柱子的规格是多少？柱流量是多少？当时的柱温是多少？1.8Xe-5使用应该无什么问题。

柱流量1.0ml/min，柱子：30X0.25X0.25, 柱温是50度，高温时真空度也差不多这个数。

1.8Xe-5应该差不多，只要氧氮比例低就行。但我一般是真空度越来越低。

我们这台是2004年的产品，02年买的，因一直问题不断，最后强烈要求下在04年MS部分换了一台新的，之后就没问题了。

原文由 dbzxh(dbzxh) 发表:
虽然我们5973有离子规，但一直没有用，前几天两次自动放空，经检查发现机械泵泵油的液面低于最低限（因漏油所致），怀疑是漏油后导致低真空度不够，从而使涡轮泵关闭。机械泵加油后，开机，当涡轮泵转速达到100%后开启高真空规，发现一个问题，真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

不知大家的真空度都是多少？我们是大泵。

真空度下降是因为机械泵还是涡轮泵的问题，本想先换个机械泵试试，因电源插头不一样，需要拆线才行，嫌麻烦，没试，如果再出现自动放空的话，就得换泵试了。

原文由 312096381(312096381) 发表:

原文由 dbzxh(dbzxh) 发表:
虽然我们5973有离子规，但一直没有用，前几天两次自动放空，经检查发现机械泵泵油的液面低于最低限（因漏油所致），怀疑是漏油后导致低真空度不够，从而使涡轮泵关闭。机械泵加油后，开机，当涡轮泵转速达到100%后开启高真空规，发现一个问题，真空度逐渐达到5.6Xe-6，之后真空度逐渐下降，稳定在1.8Xe-5。

不知大家的真空度都是多少？我们是大泵。

真空度下降是因为机械泵还是涡轮泵的问题，本想先换个机械泵试试，因电源插头不一样，需要拆线才行，嫌麻烦，没试，如果再出现自动放空的话，就得换泵试了。

问一下老师，我们这边用的安捷伦7890-5975，没有安装真空规，平时开机的时候怎么判断有没有漏气等状况，是不是只能等着看调谐报告了？谢谢老师！！