主题：【求助】ICP频繁熄火

原文由 zcymorning(zcymorning) 发表:
有一种简单的情况,就是探头脏了,我也碰见过,调高了RF功率刚开始还行,一个星期后又开始频繁熄火,以为要换几万元的RF了,或者线圈了,后来高人指点了下找了张面巾纸找到角落里的探头擦了下,至今半年好好的.

原文由 tang566(tang566) 发表:
ICP点火很困难，每回都要点火五六次，是从装机后，还最近一锻时间？
LZ需要检查下，氩气纯度是多少，氩气的压力是否符合仪器要求。

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ICP点火很困难，每回都要点火五六次，是从装机后，还最近一锻时间？
LZ需要检查下，氩气纯度是多少，氩气的压力是否符合仪器要求。

原文由 zhangen333444(zhangen333444) 发表:

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ICP点火很困难，每回都要点火五六次，是从装机后，还最近一锻时间？
LZ需要检查下，氩气纯度是多少，氩气的压力是否符合仪器要求。

最近的事，氩气也换过了，效果还是不太好，买的是高纯，怎么检查它的纯度呢？

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有一种简单的情况,就是探头脏了,我也碰见过,调高了RF功率刚开始还行,一个星期后又开始频繁熄火,以为要换几万元的RF了,或者线圈了,后来高人指点了下找了张面巾纸找到角落里的探头擦了下,至今半年好好的.

请问探头在什么位置啊？

原文由 tang566(tang566) 发表:

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ICP点火很困难，每回都要点火五六次，是从装机后，还最近一锻时间？
LZ需要检查下，氩气纯度是多少，氩气的压力是否符合仪器要求。

最近的事，氩气也换过了，效果还是不太好，买的是高纯，怎么检查它的纯度呢？

每瓶氩气瓶上都有一个标签，标签上就有纯度，如：99.999%

原文由 依风1986(xurunjiao5339) 发表:

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ICP点火很困难，每回都要点火五六次，是从装机后，还最近一锻时间？
LZ需要检查下，氩气纯度是多少，氩气的压力是否符合仪器要求。

最近的事，氩气也换过了，效果还是不太好，买的是高纯，怎么检查它的纯度呢？

每瓶氩气瓶上都有一个标签，标签上就有纯度，如：99.999%

厂家一般都是有个绿色标液上面有说明并有QC盖章合格章，我们也只能光凭表面判定并做液氩来料验收了，不知道Tang566老师有什么好的建议？

原文由 zcymorning(zcymorning) 发表:
有一种简单的情况,就是探头脏了,我也碰见过,调高了RF功率刚开始还行,一个星期后又开始频繁熄火,以为要换几万元的RF了,或者线圈了,后来高人指点了下找了张面巾纸找到角落里的探头擦了下,至今半年好好的.

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原文由 依风1986(xurunjiao5339) 发表:

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ICP点火很困难，每回都要点火五六次，是从装机后，还最近一锻时间？
LZ需要检查下，氩气纯度是多少，氩气的压力是否符合仪器要求。

最近的事，氩气也换过了，效果还是不太好，买的是高纯，怎么检查它的纯度呢？

每瓶氩气瓶上都有一个标签，标签上就有纯度，如：99.999%

厂家一般都是有个绿色标液上面有说明并有QC盖章合格章，我们也只能光凭表面判定并做液氩来料验收了，不知道Tang566老师有什么好的建议？

我也是和依风老师的验收项目差不多，验收钢瓶上的合格证标标签，检查品名和纯度是否符合要求（对于氩气的实际纯度，没有相应的仪器，没做检测）。