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主题：【求助】STEM模式下astigmatism 调节

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LittlePanda
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发表于：2013/10/09 02:30:06 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
STEM模式下，一般是先用STEM image做参考，调节condensor stigmator, 然后退出diffraction模式，如果probe不圆，再用objective stigmator把它调圆。

想问一下为什么？物镜是最后的probe forming lens, 那如果objective stig不对，应该也会影响分辨率吧。
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洪星二锅头
coime
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2013/10/9 9:09:29 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
物镜有像散肯定会影响分辨率，而且很直接也很明显

至于像散造成的具体原因建议最好拿相关的说看看，如果将电子束的传播路线理解成光路图一样，那么物镜就像相当于将光路汇聚，但是汇聚的地方不能看能一个点，而是一个盘，当然形成的盘越小分辨率相应的也应该越高，如果汇聚成的盘是扁的，说明在某个方向的电子束汇聚程度不一样，形成的像必要是虚的，这就需要有个像散调节器要人为的调节，达到接近理想的状态
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LittlePanda
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2013/10/9 21:29:21 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可是在调节STEM image的时候，都是用condensor stig去调ronchigram或image来矫正象散的。
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iamikaruk
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2013/10/10 5:13:03 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
STEM的信号在倒空间接收，而objective lens的象散也是在倒空间，因此象散只影响相位不会影响强度。
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longwood
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2013/10/10 19:11:42 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果你的问题是objective lens 既是probe forming lens, 又是imaging lens, 那么你调objective lens 的stigmator, 并没有改变objective lens current,所以对probe forming lens 那部分没有变化。

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