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主题：【求助】升温程序开始，前进样口压力不正常，疯了

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竹湘
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发表于：2014/01/07 13:36:58 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位好

7890A的气相，FPD，不分流进样，程序升温。

刚刚换过衬管、O型环、隔垫。

进样口压力设的是26psi,方法就绪后压力也正常，然后我就进样，半小时后我去看压力自动关闭了，重新开始发现是压力上不去，然后我就重新用力按了按进样口的隔垫，同时氮气快没了换了瓶新的氮气。再次开始方法，压力正常，走升温程序后，压力却开始往上升，25分钟后升到了46，再次自动关闭。

我以为是隔垫太紧了，便重新按了下，还动了动O型环，但是压力还是不行，一开始升温程序就往上冲，怎么回事啊，紧急求助~

谢谢
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2014/1/7 16:30:42 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
压力自动关闭，通常是总压不够才会发生。
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wodeseqizi
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2014/1/7 23:50:10 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
隔垫漏气？检查下
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竹湘
v2774147
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2014/1/8 9:45:13 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
恩，估计我动过的东西的原因，现在搞明白是漏气了，但是还没找到哪里漏气了，我逐个排查试试。
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Joelyqq
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2014/1/8 11:11:41 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
过保了没？找售后呀。
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Telinga-ZH
telinga
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2014/1/8 12:40:40 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你应该是用的恒流模式，在流速一定的时候，随着程序升温，压力会逐渐升高以维持这个流速。你的进样口可能有微漏，或者气源压力不够，使得进样口无法维持四十多个psi的压力，导致报警，自动关闭。
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coffee8
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2014/1/9 12:36:02 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问题可能还是出在气源压力那
刚换的气瓶不知道分压表有没有调整
是否合适
可以适当提高一点试试
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竹湘
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2014/1/11 17:25:45 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Telinga-ZH(telinga) 发表:
你应该是用的恒流模式，在流速一定的时候，随着程序升温，压力会逐渐升高以维持这个流速。你的进样口可能有微漏，或者气源压力不够，使得进样口无法维持四十多个psi的压力，导致报警，自动关闭。

恩，就是这样的。最后从进样口隔垫到柱子石墨垫都换了下，好了~谢谢~！
该帖子作者被版主 liuquan2008加 2积分， 2经验，加分理由：反馈原因
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竹湘
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2014/1/11 17:26:31 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Joelyqq(v2755671) 发表:
过保了没？找售后呀。


机子才一年，不过他们的客服还是挺好的，我是整天的给他们打电话，各种问~
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guohua
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2014/1/16 22:39:49 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
5楼说的正确，这个条件有点不合适，46psi的压力确实太大了。
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zhoujin83
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2014/1/17 12:28:20 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没明白啊，agilent的气相需要设置进样口压力吗，我们以前都是直接设置流速，压力是自动变化的。当然我们采用的是恒流模式。
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