主题:【讨论】请问放空时候分子涡轮泵多长时间停下了?整个关机需要多长时间?

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symmacros
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岛津的比较快,半小时就可以关闭了。
但是安的比较慢,要等离子源,四级杆降温。关机的时候,显示的剩余时间,不准,实际需要更久。


不知道为什么岛津会快一些?


可能没有四级杆,少了一个部件,所以降温更快。


有道理,安捷伦的四级杆的温度降的要比离子源慢,往往离子源已经到达100度,而四级杆还要过一会。
luos86
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关机基本都是在30分钟左右


安捷伦的5975C慢,整个关机需要40-50分钟多。


同为5975,大约40分钟,但通常是分子涡轮泵先降下来,四级杆和离子源还没降到关机温度
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symmacros
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今天刚关机看了下34分钟


这是算比较快的了,请问是哪个型号?
dyd3183621
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这是算比较快的了,请问是哪个型号?


7890A/5975C
luos86
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放空没完成的时候又重新开始抽真空会发生什么事吗?好像以前试过一次
symmacros
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“原文由luos86发表:放空没完成的时候又重新开始抽真空会发生什么事吗?好像以前试过一次”
好像工程师也这样过,但我没试过。你试过,应该无问题。
蓝是那么的天1188
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岛津的大概30分钟,主要看离子源温度高低。安捷伦时间稍久一点。
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Gogo_Kuo
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40分钟的样子吧
5975C
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今天刚关机看了下34分钟


这是算比较快的了,请问是哪个型号?


7890A/5975C


我也是这个型号,但还是四十到五十多分钟,不知为什么。
symmacros
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