主题:【求助】有做碳化硅的么?进来交流一下。

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tianlaiziguang
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您好!
我是研究单晶SiC MOS结构的。
针对MOS结构的氧化层和衬底界面进行缺陷研究。

我想知道:
    氧化前,碳化硅晶片需经过怎样的前处理?能有具体数值说明就更好了。还有,我需要进行仪器测试,在仪器测试前,碳化硅样品需进行怎样处理?

希望有经验的高人给我些指点! 谢谢
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