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主题：【讨论】超级高纯试剂讨论？

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JOE HUI
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发表于：2022/09/04 12:26:05 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
湿电子化学品制备的关键在于控制并达到所要求的杂质含量和颗粒度。 以半导体领域为例，根据现行通用的 SEMI 标准,根据 IC 线宽不同，所需超 级高纯试剂可分为 G1-G5 5 个等级，其中 G5 等级要求金属杂质含量达到 10ppt 等级。大家有使用超纯试剂吗？欢迎讨论
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JOE HUI
xurunjiao5339
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2022/9/12 13:26:18 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
欢迎老师们讨论分析？
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天才小熊猫
m3174742
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2022/9/12 23:30:24 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
G5的10PPT实际上是晶圆代工厂的内部要求，对于超高纯试剂商的要求考虑到运输等过程造成的潜在污染，代工厂实际上对他们的要求通常在3-5ppt，这种要求G5是不够的，而一些头部的超高纯试剂生产商他们实际上已经可以做到1ppt的超高纯电子级试剂了，但是市面上能够买到的差不多到头也就G5了，我们自己的实验室用的G4……这种试剂都好贵
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HD800
v3132510
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2022/9/20 18:47:29 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
TAMA Pure有用过G4和G5的，国内也有一个牌子用过G4和G5的，监控下来都没问题，符合G4/G5标准
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zhengyihao
zhengyihao
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2022/9/21 11:10:46 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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