主题:【原创】示差检测器显示灯能量不足

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平仔
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RID-20A报EN.ALRM,控制面板上查询灯能量:TOTALEN5297,求助怎样消除此报警
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dadgoh
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先检查光源检查光路是否正常,再检查流通池视窗是否干净。
有水有渝
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先把参比池与检测池里完全用水替换,再试试,问一下工程师灯能量的要求,是否在范围内。
安平
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充分冲洗参比池和样品池。

重复做r flow或检测器purge。


提高一点灯电压试试。


考虑是否需要清洗检测器或者换灯
Insm_aa8320b1
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能量达到6000以上报警消除,可以找到灯电压提高灯电压
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