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主题：【求助】6890在程升时柱头压上不去

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paraffin
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发表于：2007/05/12 22:32:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分流比1:1,程升45-220,10度/分,恒定流量1.0ml/min,初始压力5.4,DB-1 30-320-5.0.柱头压随温度升至6.2psi后就上不去了,低于7.x的设定值,然后就罢工了...
不知道是不是进样口堵了，还是别的什么原因?载气压力没问题的,同一个进样口低压(0.8psi)也达不到
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guohua
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2007/5/12 22:45:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
注意一下进样口是否漏气（隔垫），再有就是检查方法中的柱参数是否正确，载气类型是否正确。
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learner1999
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2007/5/13 17:40:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是隔垫漏气的话，它应该在低温状态下，就罢工了，根本无法升温啊？
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cdcflyc
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2007/5/13 17:47:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分流比太低了，把分流比调高走程序试试看．
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paraffin
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2007/5/13 21:36:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
回楼上,以前都是用这些参数,一切正常的.
有可能是隔垫的密封不太好,压力一大就漏了,明天先换个隔垫

今天换了隔垫,恢复正常了...........
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guohua
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2007/5/14 23:51:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢楼主的反馈，大家也长了经验。
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punkstorm
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2007/5/17 22:04:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
但是不管怎么说，１：１的分流比是不恰当的，一般来说，低于１５：１的分流比时，重现性会受影响的
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2007/5/18 20:25:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 punkstorm 发表:
但是不管怎么说，１：１的分流比是不恰当的，一般来说，低于１５：１的分流比时，重现性会受影响的


请教楼上，这是为什么呢？
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paraffin
qfz
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2007/5/21 23:27:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是意味着不分流的重现性就更差了,正为此而苦恼啊
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guohua
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2007/5/22 21:48:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
恰恰相反，不分流的重现性应该是不错的。
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punkstorm
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2007/5/22 22:53:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 guohua 发表:
原文由 punkstorm 发表:
但是不管怎么说，１：１的分流比是不恰当的，一般来说，低于１５：１的分流比时，重现性会受影响的


请教楼上，这是为什么呢？


        官方的说法,工程师说的
        其实我个人认为是这样的－－－－－－－－－－－－－－－１:1分流比---1.5mL ／min柱流量（恒流模式）,所以分流出口1.5 mL/min，加上隔垫吹扫，总流
    量５mL/min左右，如果分流比２０：１，那么在柱流量１.５mL/min（恒流）,分流出口30 mL/min,总流量32mL/min左右，你说系统对５mL/min  的流量控制精度
    好还是３０mL/min的控制精度好？
        另外1:1的分流比做分流进样来说,好象意义不大，还不如改变进样量 等等
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