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主题：【求助】求助：HAADF在集成电路生产失效分析中有何应用

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发表于：2007/05/17 14:59:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
只知道HAADF可以提供非常高的Z contrast。有谁知道这个option在集成电路失效分析中有何应用？能有类似的paper或book推荐一下更好。谢谢。
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