原文由 jchencs 发表:
我们实验室测量太阳能级高纯硅中的B和P, As以及金属Fe, Al, Ti, Ca, Zn, Mg, Sr等杂质。B和P的测量误差略大于1ppm, As的测量精度很差,误差要大于10ppm, 金属杂质测量误差一般都可以达到1ppm。具体来说,我有一个已知含2ppm B的样品,已反复测量近千遍,所得结果都在1-3ppm之内,但标准偏差的3倍则接近2ppm。我的仪器是Thermo iCAP 6500 Duo. 从网上的资料看,别的厂家的ICP-OES仪器精度可能要好一点,但估计B的测量精度也不会优于1ppm。各位同行能否把所用仪器型号及所能达到的精度拿出来晒一晒?另外,B的测量+/-1ppm的精度已不能满足我们的需要,我们现在准备买一台ICP-MS,不知哪位知道ICP-MS(厂家,型号?)测量硅中杂质B和P的精度是多少?
原文由 风之灵 发表:原文由 jchencs 发表:
我们实验室测量太阳能级高纯硅中的B和P, As以及金属Fe, Al, Ti, Ca, Zn, Mg, Sr等杂质。B和P的测量误差略大于1ppm, As的测量精度很差,误差要大于10ppm, 金属杂质测量误差一般都可以达到1ppm。具体来说,我有一个已知含2ppm B的样品,已反复测量近千遍,所得结果都在1-3ppm之内,但标准偏差的3倍则接近2ppm。我的仪器是Thermo iCAP 6500 Duo. 从网上的资料看,别的厂家的ICP-OES仪器精度可能要好一点,但估计B的测量精度也不会优于1ppm。各位同行能否把所用仪器型号及所能达到的精度拿出来晒一晒?另外,B的测量+/-1ppm的精度已不能满足我们的需要,我们现在准备买一台ICP-MS,不知哪位知道ICP-MS(厂家,型号?)测量硅中杂质B和P的精度是多少?
看了你的贴子好几遍才明白,你说的精度应该是指灵敏度吧?
你的B 1ppm的灵敏度是指的硅中B的含量吧?按量B的灵敏度应该可以做到更低的,不知道你的称样量是多少?因为B是属于比较灵敏的元素。
不过对于你们这一行的检测来说,一般基本配制都是ICP-OPS + ICP-MS的,单买ICP光谱的比较少。