原文由 pjs123 发表:
去离子水(Deionized Water ):
应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子,但水中仍然存在可溶性的有机物,可以污染离子交换柱从而降低其功效,去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。
从自来水到去离子水一般要经过几步处理
先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质
再分别依次通过阴阳离子交换柱去除离子
然后加压通过反渗透膜
最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物
假如此时电阻率还没有达到要求的话
可以再进行一次离子交换和反渗透过程
而蒸馏水只是先气化再冷凝
纯度一般不如去离子水
实际半导体工业中用的大多数是去离子水