原文由 fengcuicaodi 发表:
原文由 golf 发表:
最近听了一些讲座, 有介绍电制冷的. 感觉主要的特点是维护方便, Mapping速度快,应该还是不错的.
但我总感觉不能片面强调速度和计数率. 获得高计数率肯定要使用大束流,高电压,这样对得到高质量的SEM图像及提高EDS空间分辨率肯定不利. 如果能解决这个矛盾就更好了.
说得有利,虽然对电致冷很是向往,要求大束流也是很烦恼的一件是,如果有大面积接受信号的电致冷才是SEM的利器!
赞同,大面积SDD探测器!!!,不过面积大了以后有以下几个问题需要解决:
1.大面积探测器的分辨率,特别是原子序数较小元素的分辨率,如C元素,这个指标是非常非常重要的。目前我知道的大面积(40平方毫米)SDD最好的指标是:46eV
2.大面积SDD薄窗破损问题,面积越大,承受的压力肯定越大,理论上讲,造成窗口损坏的机率越大。
3.处理器的处理能力问题,大面积SDD可以采集足够强的信号,需要进一步提高现有处理器的处理能力,比如目前布鲁克40平方毫米的SDD探测器可处理3000,0000cps的输入计数,如果面积进一步增大,那么对处理器的要求就非常高,因此我觉得在增大面积的同时,配置配套的处理器是关键。
如:
10~30平方:最好处理器处理能力不小于1,000,000cps
40~50平方:最好处理器处理能力不小于3,000,000cps
50~80平方:最好处理器处理能力不小于10,000,000cps
只有具备了以上能力的处理器,大面积SDD的优势才会充分发挥。