主题:【求助】赛默飞世尔DSQ 涡轮泵、漏气故障,请帮分析

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ruan651209
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CI气开了不?

有一回前级持续900多,吓一跳,
查明是CI气的电磁阀泄漏。
whhl12345
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ruan651209
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调谐界面工具栏的调谐气右侧图标。
如果是虚标,那就是没装CI。

我的意思是如果电磁阀失效,开不开气都会泄漏。
当然,情形很少见。

要不,开机前直接堵CI气孔一试(如有,在质谱正后上方)
fwonder
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看看机械泵是不是正常工作?泵都正常的话把真空腔的橡胶圈重新重新压一次。机械泵没问题就肯定是腔体的某处密封不好,大漏
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