主题:【求助】ICP的安全问题

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mikewind
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搞光谱分析的各位大家好,

我们实验室是是搞ICP等离子体刻蚀的。自己买了个ICP炬管,通入的是氩气和CF4,接上13.56Mhz射频电源,激发出等离子体,光很强烈(目测)(无任何防护措施)。

我的疑虑是,这样的方式会不会有 紫外或x射线或其他有害辐射呢? 这关系到我们实验室人员的身体安全,都是20多岁的学生,真心求助
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依风1986
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abcpgf
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依风1986
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原文由 abcpgf(abcpgf) 发表:
按照aglient的说法比我们用手机辐射要低很多。


厂家都是这样说的
timstoicpms
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原文由 abcpgf(abcpgf) 发表:
按照aglient的说法比我们用手机辐射要低很多。


商业化的ICP-OES、ICP-MS,等离子体都是被“屏蔽”在仪器仓内部,电磁辐射肯定安全。

但像楼主这种在裸露环境下用等离子体,电磁辐射就不好讲了。
依风1986
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原文由 abcpgf(abcpgf) 发表:
按照aglient的说法比我们用手机辐射要低很多。


商业化的ICP-OES、ICP-MS,等离子体都是被“屏蔽”在仪器仓内部,电磁辐射肯定安全。

但像楼主这种在裸露环境下用等离子体,电磁辐射就不好讲了。


裸露的肯定不行了,可否借助仪器测试?
tang566
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砂锅粥
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原文由 abcpgf(abcpgf) 发表:

按照aglient的说法比我们用手机辐射要低很多。
楼主这个跟安捷伦的仪器很不一样。

楼主那个不是用来测试元素的,而是拿来蚀刻的。应该跟激光蚀刻差不多。
砂锅粥
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原文由 tang566(tang566) 发表:
用于蚀刻的ICP,它的蚀刻原理是什么?
应该是利用等离子体的高温,类似于激光的高能量。
砂锅粥
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这样估计光的强度跟电焊差不多了,肯定要做防护措施的了。商业化的ICP是加装了保护装置的,有屏蔽层。
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