主题:【讨论】请教测定金属硅中的硼,样品如何处理?

浏览0 回复25 电梯直达
a_lei82
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金属硅的纯度很高,要想册其中硼的含量,样品该如何处理啊?
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mier
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Rainwolf_Q
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fangzhen0221
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原文由 a_lei82 发表:
金属硅的纯度很高,要想册其中硼的含量,样品该如何处理啊?


我主要是做半导体硅,样品处理方法是加1:1的硝酸:氢氟酸,先加硝酸,后加氢氟酸,然后放在加热板上赶SiF4
a_lei82
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yuyuunt
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原文由 a_lei82 发表:
用HF可以做其他元素,可B不行啊!


是啊,回收率很差。BF3会挥发,听说有加甘露醇的,但是做有机的好麻烦哦
perryclive
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光哥
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原文由 a_lei82 发表:
金属硅的纯度很高,要想册其中硼的含量,样品该如何处理啊?


和多晶硅相比,金属硅应该是很低的纯度才是吧??1101的也才接近4N啊。
jchencs
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如果纯度不超过6N,可用ICP测,如果超过则只能用GDMS测。
chauchylan
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