原文由 (wyytg) 发表:
想做、用声学显微镜看一下界面的气泡和空洞。
肉眼可以看到,但是很费事。
大家知道哪里有声学显微镜这个设备呢?
Wyytg哥们,气泡和空洞,最适合的无损检测设备,就是
扫描声学显微镜,简称:
C-SAM;还有一种设备是
X射线透射机,简称:X-ray。
两者各有利弊,主要还得看你的样品特性。如果你的样品上表面是平整的,且单一层面的厚度是小于15MM的话,那么一般来说,非常适合用扫描声学显微镜来作气泡、分层等缺陷的检测;如果说,你的样品非常的厚,或者表面是非常不平整(大概的级别是
高差达1mm以上),那么扫描声学显微镜是无法胜任的。这时,可以用X-ray设备来看。
这两种设备测得的结果图片,有比较大的差异,声学显微镜,图片黑白分明,白色的区域就代表有气泡或分层缺陷;黑色或灰色代表两层之间粘接优良。
北京地区,有很多地方可以测试,如北京大学
微电子中心、清华大学微电子所,都可以测试
声学显微镜。他们实验室内也都配置了X-ray设备,因此可以两个都试一下!
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