主题:【分享】【实战宝典】半导体分析中常用的ICP-MS质谱干扰技术有哪些?

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问题描述:半导体分析中常用的ICP-MS质谱干扰技术有哪些?
解答:
与其他行业样品分析一样,各类半导体样品进行分析时受到质谱干扰和非质谱干扰,常用的ICP-MS质谱干扰技术包括冷等离子体技术,碰撞反应池技术(包括碰撞模式和反应模式(on mass mass shift))以及冷等离子体与碰撞反应池相结合的技术。

以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》
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