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主题：【求助】高纯硅中P和B的检测方法

浏览0 回复43 电梯直达
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liaoxiaozi
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2010/6/2 13:14:37 41楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
硅表面杂质分析一般是用稀混酸低温长时间溶解 中间要加甘露醇
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光哥
xsh1234567
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2010/6/3 15:40:26 42楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 luorry(luorry) 发表:
原文由 xsh1234567 发表:
原文由 chauchylan 发表:
高纯硅中P和B的检测方法最好的还是用GD-MS进行分析,结果要比ICP-MS可信度高..


乱讲，实际的测试结果来看，GDMS无论是Element GD或者是VG9000，测硼的时候和其他的手段都是对不上的，尤其是多晶状态下的硅。


通常有没有设备测是一说，如何测得准又是另外一说。
GDMS目前作为检测太阳能级多晶硅料的标准，已经由SEMI发布了。相信GDMS的检测结果还是通过了其他方法的比对和认可的。


呵呵，看来当时的回答还真是不成熟呢。现在回头再想想，也许造成这种偏差的更多是由于样品本身的不均值性吧？得给当时的自己当头一棒
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liaoxiaozi
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2010/6/8 8:38:27 43楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在摸索中 希望找到最优方案
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liaoxiaozi
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2010/6/11 11:02:45 44楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我加过后 效果一般
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