原文由 nps(nps) 发表:原文由 astap(zhuminyoung) 发表:
楼主,根据之前的一些回复,我觉得最有可能是你的仪器碰撞池脏了,导致你的Al变高(其实是假信号)。
建议你对仪器重新Tuning,特别是KED电压。
只是单纯分析硅片表面杂质,池体没那么容易脏的,我这也是分析硅基体中的杂质含量,3年多了,池体都没有出现问题。倒是楼主使用600W冷焰模式,这点我觉得不妥,Al、Fe、Ca、Na、K这几个元素用氢气模式效果应该更好些。
原文由 emevol03(emevol03) 发表:原文由 nps(nps) 发表:原文由 astap(zhuminyoung) 发表:
楼主,根据之前的一些回复,我觉得最有可能是你的仪器碰撞池脏了,导致你的Al变高(其实是假信号)。
建议你对仪器重新Tuning,特别是KED电压。
只是单纯分析硅片表面杂质,池体没那么容易脏的,我这也是分析硅基体中的杂质含量,3年多了,池体都没有出现问题。倒是楼主使用600W冷焰模式,这点我觉得不妥,Al、Fe、Ca、Na、K这几个元素用氢气模式效果应该更好些。
谢谢您的帮忙。
我们有H2,可是H2太危险了,所以放置的很远,管路太长导致气体不纯,所以一直没有在使用。
不知道您的测试结果,Al,正常情况下是否有比其他金属高一个数量级的情况?